3D量測|Alicona Tech News​

Alicona焦點變化的比較
馬路科技|Alicona 3D量測部門

每當需要檢查表面質量和微觀幾何特徵時,高分辨率的精確量測解決方案都是必要的
與替代光學技術相比,Focus-Variation縮小了典型3D坐標量測技術與經典表面計量設備之間的差距

輪廓投影

圖像處理系統是光學量測系統的前身,並且對於理解光學量測技術仍然有意義。輪廓投影儀可放大組件的表面特徵,並將圖像投影到屏幕上,通過匹配模式,將圖像與參考值進行比較。優點是可以在幾秒鐘內執行量測,儘管幾何特徵的自動量測僅限於二維應用程序,而最大的缺點是它對物體對準的敏感性,根據其方向可能獲得不同的量測結果。

結構光

像投影設備般,以幾個亮暗的條紋照亮量測物件,並用攝影機拍攝,物件的形貌扭曲了投影設備的條紋圖案,再用照相機記錄變形的圖案,最後通過圖像處理來計算形貌變形。結構光的優點之一是在量測大面積表面時具有很高的量測速度。因此該技術主要用於量測非常大的零件(例如車身),而該技術對於高分辨率次微米深度量測(例如粗糙度量測)的適用性有限。另外,低的景深和對變化的表面特性的高靈敏度大大限制了應用範圍。

共焦量測

其特點是橫向分辨率高。在檢測器內部的焦點處,用一個附加的光圈阻擋來自焦平面上方和下方的光線,使得只有焦平面內的光可穿過檢測器,用通過檢測最強的信號深度來進行量測。共聚焦系統特別適用於光滑的表面的量測,像是矽結構或半導體幾何結構。z高分辨率的優點是對振動的敏感性更高。

焦點變化

不僅可以獲取深度的信息,還能收集表面的本色信息,微小和奈米特徵的粗糙度可透過輪廓和面積測得。通過Real3D技術可從不同的角度量測複雜的幾何形狀,然後將其合併為完整的3D數據集,在一個數據中即量測出形狀、尺寸、位置和粗糙度,Focus-Variation縮小了3D座標量測技術與表面輪廓儀之間的距離。不同於其他輪廓投影儀僅量測其輪廓,而是對整個物件的3D表面做量測。而共聚焦系統和干涉儀量測僅能在系統焦點附近調整亮度強度,但是“聚焦變化”則可以在大範圍進行高清晰度的量測。 因此聚焦變化技術更能夠耐振動。

奈米級光學三次元系列

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