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InfiniteFocus G5 plus

3D顯微形貌與粗糙度光學輪廓儀

FEATURES
InfiniteFocus G5 plus
新世代3D微型量測系統

搭配高精度CCD,專門用於微小工件的尺寸及粗糙度檢測,滿足各領域的檢測需求

高測量點密度

多達5億個測量點可確保進行精細細緻的測量,公差在μm和sub-μm範圍內,並且工作距離大。聚焦變化的高測量點密度使操作員能夠在高測量體積上獲得一致的高橫向和垂直分辨率。

陡峭側面的測量

來自不同方向的光用於對測量產生積極影響。最大側面角的測量不受物鏡數值孔徑的限制。根據表面用戶的不同,測量坡度最大為87°的表面。

使用Real3D進行全尺寸測量

使用Real3D,用戶可以從多個角度測量表面。單個測量將自動合併到完整的3D數據集中。高精度和經過校準的旋轉軸和傾斜軸可確保對整個測量對象進行自動,可重複和可追溯的測量。
Specification

InfiniteFocus G5 plus 產品規格

InfiniteFocus G5 plus 設備規格​
量測範圍
100 x 100 x 100 mm or 200 x 200 x 100 mm
設備尺寸
approx. 860 x 640 x 730 mm
設備重量
approx. 105 kg to 162kg
工作溫度
+18℃ to+28℃
InfiniteFocus G5 plus 鏡頭規格​
5X
10X
20X
50X
100X
量測面積[mm]
2.82 x 2.82
1.62 x 1.62
0.81 x 0.81
0.32 x 0.32
0.16 x 0.16
點間距離[μm]
1.76
0.88
0.44
0.18
0.09
工作距離[mm]
23.5
17.5
19
11
4.5
最小粗糙度檢測[μm]
0.6
0.15
0.075
0.03
0.015
最小R角檢測[μm]
10
5
3
2
1
Applications
InfiniteFocus G5 plus 應用

InfiniteFocus是一種高精度,快速且靈活的光學3D表面測量系統,在一個系統中結合了尺寸計量和表面粗糙度測量功能。用戶獲得可追溯的測量結果,具有很高的可重複性和高達10nm的垂直分辨率。穩固的焦距變化測量原理與隔振硬件相結合,可以測量大型和重型組件的形狀和粗糙度。InfiniteFocus的所有軸均配備了高度精確的編碼器,可確保精確的平台移動。

借助自動化界面,InfiniteFocus還可以應用於生產中的全自動測量。

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