InfiniteFocus G5 自動變焦三維表面測量儀

自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發生產的集微型三座標測量和表面形貌測量於一體的光學測量系統。

自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的突出特點:

  • 一款全方位的3D光學測量儀
  • InfiniteFocus G5整合了微型三座標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能
  • 萬能和高效
  • LED環形燈的設計,使表面測量的範圍幾乎不受限制
  • 高分辨,高可重複性和可溯源
  • 即使對於復雜樣品表面,仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
  • 高測量速度
  • InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒
  • 模塊化和可擴展性
  • 新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合全自動
  • 測量簡單且自動化程度高,如自動更換物鏡等

主要技術參數:
位移範圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm
樣品表面結構:表面形貌Ra>9nm,Lc=2μm,取決於表面結構
最大樣品高度:100mm ~ 345mm
最大樣品重量:30kg
最佳水平分辨率:0.44μm
最佳垂直分辨率:10nm
最大掃描高度:22.5mm
最大擴展視野範圍:10000mm2
最大單一方向掃描範圍:100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
量高度:0.01μm~22.5mm
最大測量範圍:10000mm2
最大測量形貌長度:100mm
最小可重複性:0.001μm
最小測量粗糙度(Ra):0.03μm
最小測量粗糙度(Sa):0.015μm
最小測量半徑:1μm
最小測量楔角角度:20°
最大測量傾斜角度:87°


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