半導體設備商 – 三次元量測應用

數家半導體設備製造供應商,過去均採用傳統三次元量床的檢驗方式,但卻有量測規劃費時、因測頭角度限制造成工件翻動次數多、工件搬運不易、報告整理耗時…等缺點。

經採用FARO移動式三次元的檢驗,因操作簡單、容易學習、輸出報告簡易、攜帶方便…等特點,這套設備解決品保外出攜帶大量的傳統量具,陸續下游廠商,皆指定購買這套設備來檢驗加工成品的標準。

移動式三次元任何環境均可量測:

因移動式三次元內部配置溫度感測器,可偵測量測環境溫度,對設備精度進行補償,架設在平台上或吸附在檢治具本體上,即可進行量測。

2) 顯示3D畫面視圖尺寸結果:

量測幾何特徵、距離、角度、GD&T的相關數據,取代傳統量具無法檢驗的平面度、真圓度、平行度、垂直度、同軸度,3D畫面直接顯示出數據及相對位置。

3) 報告呈現:

檢測完畢後,可輸出EXCEL和PDF等格式。


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